測量標準

線性膨脹系數(shù)

Zerodur玻璃陶瓷上的DIADUR相位光柵；光柵周期0.512微米
α THERM =（0±0.1）×10 -6 ? -1

精度等級

±0.5 µm（可根據(jù)要求提供更高的精度等級）

基準錯誤

≤ ±0.075 µm / 5毫米

測量長度ML * ，單位mm

70 120 150 170 220 270

參考標記

沒有

接口

 1 V PP

綜合插補

信號周期

–

0.128微米

截止頻率–3 dB

≥1兆赫

掃描頻率*

邊緣分離a

–

移動速度

≤ 7.6米/分鐘

插補誤差

位置噪聲RMS

±0.01納米

0.06 nm（1 MHz 1））

激光

掃描頭和天平安裝： 1級

未安裝掃描頭： 3B級

使用的激光二極管： 3B級

電氣連接

0.5 m電纜至接口電子設備（APE），
可連接至APE的單獨適配器電纜（1 m / 3 m / 6 m / 9 m）

電纜長度

參見接口說明，但≤30 m（使用海德漢電纜）

電源供應

直流5 V±0.25 V

目前的消費

<190毫安

振動55 Hz至2000 Hz

震動11毫秒

≤4 m / s 2（EN 60068-2-6）

≤50 m / s 2（EN 60068-2-27）

工作溫度

0°C至40°C

大眾 掃描頭

接口電子

線性刻度

連接線

150克

100克

ML70毫米： 260克，ML ≥ 150毫米： 700克

38克/平方米

* 訂購時請選擇

1） 后續(xù)電子設備的–3 dB截止頻率